大尺寸氧化锆防静电陶瓷及其制备方法和应用

来源:优秀文章 发布时间:2023-03-11 点击:

本发明公开了一种大尺寸氧化锆防静电陶瓷及其制备方法和应用,该制备方法包括以下步骤:将八水氧氯化锆、钇盐、铈盐、乙醇、双氧水和分散剂混合,经喷雾造粒,煅烧,得到铈钇稳定氧化锆;
将铈钇稳定氧化锆、氧化锌、铝溶胶、硅溶胶和分散剂混合,经喷雾造粒,煅烧,得到防静电陶瓷粉末;
将防静电陶瓷粉末成型后进行埋粉烧结,得到大尺寸氧化锆防静电陶瓷。本发明的制备方法可以有效防止烧结缺陷的产生,同时有利于制备大尺寸氧化锆防静电陶瓷,其制得的大尺寸氧化锆防静电陶瓷,具有更高的致密度、更好的力学性能以及更低的表面电阻率,适用于制备性能优异的芯片陶瓷吸盘以及陶瓷手臂。

申请号:202211043267X

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